無(wú)油干式機械真空泵（又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

　　目前，真空行業(yè)使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應物質(zhì)使真空泵內的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。

　　對于普通的無(wú)油真空系統來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能徹底解決問(wèn)題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

　　干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

　　1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2）半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿(mǎn)足要求；

　　4）在化學(xué)工業(yè)、醫藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5）用做一般無(wú)油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

　　近年來(lái)，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進(jìn)行干式機械真空泵的開(kāi)發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠(chǎng)等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類(lèi)泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類(lèi)型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據不同的用途加以選擇。